发明授权
- 专利标题: 用于直拉单晶的加热器
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申请号: CN201610900559.9申请日: 2016-10-17
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公开(公告)号: CN106222736B公开(公告)日: 2019-01-04
- 发明人: 潘永娥
- 申请人: 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
- 申请人地址: 宁夏回族自治区中卫市中卫工业园
- 专利权人: 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
- 当前专利权人: 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
- 当前专利权人地址: 宁夏回族自治区中卫市中卫工业园
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 唐清凯
- 主分类号: C30B15/14
- IPC分类号: C30B15/14 ; C30B29/06
摘要:
本发明涉及一种用于直拉单晶的加热器,包括圆筒状的加热器本体,所述加热器本体从上向下分布有第一高温部、低温部,在加热器本体安装到坩埚的外围后,第一高温部和低温部分别对应坩埚的上部和中部;加热器本体通电后,第一高温部产生的温度高于低温部产生的温度。本申请的好处在于:第一高温部和低温部分别对应坩埚的上部和中部;加热器本体通电后,第一高温部产生的温度高于低温部产生的温度,使得在温差的作用下,坩埚上部的高氧硅液会流向坩埚中部,导致硅液表面即结晶面的氧含量很低,降氧效果相对于现有技术更好。
公开/授权文献
- CN106222736A 用于直拉单晶的加热器 公开/授权日:2016-12-14
IPC分类: