用于直拉单晶的加热器
摘要:
本发明涉及一种用于直拉单晶的加热器,包括圆筒状的加热器本体,所述加热器本体从上向下分布有第一高温部、低温部,在加热器本体安装到坩埚的外围后,第一高温部和低温部分别对应坩埚的上部和中部;加热器本体通电后,第一高温部产生的温度高于低温部产生的温度。本申请的好处在于:第一高温部和低温部分别对应坩埚的上部和中部;加热器本体通电后,第一高温部产生的温度高于低温部产生的温度,使得在温差的作用下,坩埚上部的高氧硅液会流向坩埚中部,导致硅液表面即结晶面的氧含量很低,降氧效果相对于现有技术更好。
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