弹性波装置及其制造方法
摘要:
提供能对应高频且能提高Q值的弹性波装置。本发明的弹性波装置(1)中,在支撑基板(2)上层叠有进行传播的体波声速比在压电膜(5)传播的弹性波声速高的高声速膜(3),在高声速膜(5)传播的体波声速低的低声速膜(4),在低声速膜(4)上层叠有上述压电膜(5),且在压电膜(5)的一面层叠有IDT电极(6)。(3)上,层叠有进行传播的体波声速比在压电膜
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