发明公开
- 专利标题: 弹性波装置及其制造方法
- 专利标题(英): Elastic wave device and method for manufacturing the same
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申请号: CN201610512603.9申请日: 2011-12-20
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公开(公告)号: CN106209007A公开(公告)日: 2016-12-07
- 发明人: 木户俊介 , 岩本英树 , 神藤始 , 渡边宗久
- 申请人: 株式会社村田制作所
- 申请人地址: 日本京都府
- 专利权人: 株式会社村田制作所
- 当前专利权人: 株式会社村田制作所
- 当前专利权人地址: 日本京都府
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 薛凯
- 优先权: 2010-288453 2010.12.24 JP
- 分案原申请号: 201180059880.4 2011.12.20
- 主分类号: H03H3/10
- IPC分类号: H03H3/10 ; H03H9/02
摘要:
提供能对应高频且能提高Q值的弹性波装置。本发明的弹性波装置(1)中,在支撑基板(2)上层叠有进行传播的体波声速比在压电膜(5)传播的弹性波声速高的高声速膜(3),在高声速膜(5)传播的体波声速低的低声速膜(4),在低声速膜(4)上层叠有上述压电膜(5),且在压电膜(5)的一面层叠有IDT电极(6)。(3)上,层叠有进行传播的体波声速比在压电膜
公开/授权文献
- CN106209007B 弹性波装置 公开/授权日:2019-07-05