发明授权
- 专利标题: 温度控制设备及其隔离罩
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申请号: CN201510220525.0申请日: 2015-05-04
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公开(公告)号: CN106200712B公开(公告)日: 2018-08-31
- 发明人: 李岳颖 , 克里斯塔·赫尔格·雅各布 , 张盈乔
- 申请人: 旺矽科技股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹县竹北巿中和街155号
- 专利权人: 旺矽科技股份有限公司
- 当前专利权人: 旺矽科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹县竹北巿中和街155号
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国
- 优先权: 104106852 2015.03.04 TW
- 主分类号: G05D23/20
- IPC分类号: G05D23/20
摘要:
本发明揭露一种温度控制设备及其隔离罩。温度控制设备包含流体输出装置连接头、隔离罩、干燥腔室与干燥气体源。流体输出装置连接头具有输出喷嘴与第一流体输出管。隔离罩具有罩体与第二流体输出管。罩体定义工作空间,输出喷嘴连通工作空间,第二流体输出管连通工作空间与第一流体输出管,第一流体输出管与第二流体输出管之间具有连结界面。连结界面至少部分位于干燥腔室中。干燥气体源连通干燥腔室,用以提供干燥气体至干燥腔室中。本发明提供的温度控制设备,能把于连结界面泄漏的流体,以干燥气体先稀释后再排出,以避免于连结界面出现结霜或露水的现象。
公开/授权文献
- CN106200712A 温度控制设备及其隔离罩 公开/授权日:2016-12-07