温度控制设备及其隔离罩
摘要:
本发明揭露一种温度控制设备及其隔离罩。温度控制设备包含流体输出装置连接头、隔离罩、干燥腔室与干燥气体源。流体输出装置连接头具有输出喷嘴与第一流体输出管。隔离罩具有罩体与第二流体输出管。罩体定义工作空间,输出喷嘴连通工作空间,第二流体输出管连通工作空间与第一流体输出管,第一流体输出管与第二流体输出管之间具有连结界面。连结界面至少部分位于干燥腔室中。干燥气体源连通干燥腔室,用以提供干燥气体至干燥腔室中。本发明提供的温度控制设备,能把于连结界面泄漏的流体,以干燥气体先稀释后再排出,以避免于连结界面出现结霜或露水的现象。
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