发明公开
CN106191992A 多晶硅锭的制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 多晶硅锭的制造方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing a polycrystalline silicon ingot
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申请号: CN201510479377.4申请日: 2015-08-03
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公开(公告)号: CN106191992A公开(公告)日: 2016-12-07
- 发明人: 何国桢 , 蔡亚陆 , 曾建嘉 , 杨佳颖
- 申请人: 友达晶材股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾台中市
- 专利权人: 友达晶材股份有限公司
- 当前专利权人: 友达晶材股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾台中市
- 代理机构: 北京泰吉知识产权代理有限公司
- 代理商 张雅军
- 优先权: 103127059 2014.08.07 TW
- 主分类号: C30B28/04
- IPC分类号: C30B28/04 ; C30B29/06
摘要:
一种多晶硅锭的制造方法包含以下步骤:(A)将一个装有一硅料并具有一个底壁及一个围绕该底壁的围壁的坩埚设置于一热场内,令该坩埚内的硅料受该热场所加热以熔融成一硅熔汤;(B)于该步骤(A)后,控制该热场由该坩埚的一上方加热,以令接触于该坩埚的底壁处及至少接触邻近该底壁的围壁处的一部分硅熔汤,固化成一个固态硅晶隔离层从而令一剩余硅熔汤的一底部是由该固态硅晶隔离层所包围;及(C)于该步骤(B)后,控制该热场由该坩埚的上方持续加热,且令该坩埚内的剩余硅熔汤由该剩余硅熔汤的底部向上逐渐固化结晶成一个多晶硅锭。因此,在制造多晶硅锭过程中,预先固化形成该固态硅晶隔离层,可以降低最终的多晶硅锭内的氧含量。
公开/授权文献
- CN106191992B 多晶硅锭的制造方法 公开/授权日:2019-02-22