LED外延生长方法
摘要:
本申请公开了一种LED外延生长方法,依次包括:处理衬底、生长低温GaN成核层、生长高温缓冲层GaN、生长非掺杂u‑GaN层、生长掺杂Si的n‑GaN层、生长发光层、生长i‑AlGaN层和p‑InGaN层的交替生长结构、生长高温p型GaN层、生长p型GaN接触层、降温冷却。如此方案,把传统的LED外延电子阻挡层,设计为低压高温的i‑AlGaN层和高压低温的p‑InGaN层的交替层生长结构,既起到电子阻挡效果,又有助于空穴注入水平的增加,从而提高LED的发光效率。
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