发明授权
- 专利标题: LED外延生长方法
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申请号: CN201610834416.2申请日: 2016-09-20
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公开(公告)号: CN106129198B公开(公告)日: 2018-10-02
- 发明人: 徐平 , 林传强
- 申请人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 申请人地址: 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区
- 专利权人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区
- 代理机构: 北京晟睿智杰知识产权代理事务所
- 代理商 于淼
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/14 ; H01L33/32
摘要:
本申请公开了一种LED外延生长方法,依次包括:处理衬底、生长低温GaN成核层、生长高温缓冲层GaN、生长非掺杂u‑GaN层、生长掺杂Si的n‑GaN层、生长发光层、生长i‑AlGaN层和p‑InGaN层的交替生长结构、生长高温p型GaN层、生长p型GaN接触层、降温冷却。如此方案,把传统的LED外延电子阻挡层,设计为低压高温的i‑AlGaN层和高压低温的p‑InGaN层的交替层生长结构,既起到电子阻挡效果,又有助于空穴注入水平的增加,从而提高LED的发光效率。
公开/授权文献
- CN106129198A LED外延生长方法 公开/授权日:2016-11-16
IPC分类: