一种负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料的制备方法
摘要:
本发明公开了一种负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料的制备方法,包括如下步骤:1)将石墨烯薄膜至于PECVD反应室中,设压力为5×10‑4‑10‑3Pa,温度为200‑600℃,等离子体产生的微波功率为300‑500W,以氩气为载体,通入氟气,反应1‑20h,得到氟化石墨烯薄膜;2)将得到的氟化石墨烯薄膜转移至原子沉积腔室中,采用惰性气体除气20min‑30min,调节超真空反应腔的真空度为10‑6‑10‑7Pa,调节温度为400℃‑700℃;3)以银为靶材,通过电子束轰击蒸发形成银反应气源,通入到沉积腔室中,时间为20‑100ns,再通入惰性载气50‑200ns,重复步骤5‑20min,交替通入银反应气源和惰性载气,在氟化石墨烯薄膜上生长形成纳米银,得到负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料。本发明得到的复合材料具有优良性能。
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