- 专利标题: 一种负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料的制备方法
-
申请号: CN201610594377.3申请日: 2016-07-26
-
公开(公告)号: CN106086820B公开(公告)日: 2019-01-11
- 发明人: 王振中
- 申请人: 厦门烯成石墨烯科技有限公司
- 申请人地址: 福建省厦门市火炬高新区创业园伟业楼南楼S301c室
- 专利权人: 厦门烯成石墨烯科技有限公司
- 当前专利权人: 厦门烯成石墨烯科技有限公司
- 当前专利权人地址: 福建省厦门市火炬高新区创业园伟业楼南楼S301c室
- 主分类号: C23C16/511
- IPC分类号: C23C16/511 ; C23C16/30 ; C23C14/30 ; C23C14/18 ; B82Y40/00
摘要:
本发明公开了一种负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料的制备方法,包括如下步骤:1)将石墨烯薄膜至于PECVD反应室中,设压力为5×10‑4‑10‑3Pa,温度为200‑600℃,等离子体产生的微波功率为300‑500W,以氩气为载体,通入氟气,反应1‑20h,得到氟化石墨烯薄膜;2)将得到的氟化石墨烯薄膜转移至原子沉积腔室中,采用惰性气体除气20min‑30min,调节超真空反应腔的真空度为10‑6‑10‑7Pa,调节温度为400℃‑700℃;3)以银为靶材,通过电子束轰击蒸发形成银反应气源,通入到沉积腔室中,时间为20‑100ns,再通入惰性载气50‑200ns,重复步骤5‑20min,交替通入银反应气源和惰性载气,在氟化石墨烯薄膜上生长形成纳米银,得到负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料。本发明得到的复合材料具有优良性能。
公开/授权文献
- CN106086820A 一种负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料的制备方法 公开/授权日:2016-11-09
IPC分类: