二维柔性剪切应力传感器及其测量方法
摘要:
本发明公开了一种二维柔性剪切应力传感器及其测量方法,属于电子器件技术领域,包括采用热敏材料Ni制成的X向热线和Y向热线,X向热线由第一X向子热线和第二X向子热线组成,Y向热线由第一Y向子热线和第二Y向子热线组成;第一X向子热线、第二X向子热线、第一Y向子热线、第二Y向子热线的两端分别与铜制成的驱动电极耦合;底层衬底上设有铜制成的外接电极,每个驱动电极分别通过铜导线与对应的外接电极连接;表层衬底完全覆盖X向热线、Y向热线和驱动电极,表层衬底不覆盖外接电极。本发明对流场边界层内的流体变化分辨率提高,能够准确的测量高雷诺数条件下流体边界层内的二维剪切应力,并且有利于传感器的阵列化。
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