发明公开
- 专利标题: 一种LED芯片的制备方法及采用该方法制备的LED芯片
- 专利标题(英): Preparation method of LED chip and LED chip prepared by adopting method
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申请号: CN201610595189.2申请日: 2016-07-26
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公开(公告)号: CN106025012A公开(公告)日: 2016-10-12
- 发明人: 胡弃疾 , 张雪亮 , 汪延明
- 申请人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 申请人地址: 湖南省郴州市白露塘有色金属产业园
- 专利权人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省郴州市白露塘有色金属产业园
- 代理机构: 长沙七源专利代理事务所
- 代理商 欧颖; 吴婷
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/42 ; H01L33/44
摘要:
本发明提供了一种LED芯片的制备方法及采用该方法制备的LED芯片,LED芯片包括依次生长在衬底上的N型半导体层、发光层、P型半导体层、电流阻挡层以及覆盖在电流阻挡层上的ITO透明导电层,N型半导体层制作有N电极,ITO透明导电层上制作P电极,所述N电极外侧的芯片上表面沉积有SiO2保护层,P电极外侧的芯片上表面依次沉积有SiON增透膜和SiO2保护层。本发明由于在ITO透明导电层的表面上沉积了一层SiON增透膜和使用磷酸溶液蚀刻SiON增透膜,使得在ITO透明导电层在芯片的制作流程中避免损伤和污染,提高了ITO透明导电层质量,使得LED芯片亮度提升的同时芯片电压下降,使LED更加节能环保。
IPC分类: