一种LED芯片的制备方法及采用该方法制备的LED芯片
摘要:
本发明提供了一种LED芯片的制备方法及采用该方法制备的LED芯片,LED芯片包括依次生长在衬底上的N型半导体层、发光层、P型半导体层、电流阻挡层以及覆盖在电流阻挡层上的ITO透明导电层,N型半导体层制作有N电极,ITO透明导电层上制作P电极,所述N电极外侧的芯片上表面沉积有SiO2保护层,P电极外侧的芯片上表面依次沉积有SiON增透膜和SiO2保护层。本发明由于在ITO透明导电层的表面上沉积了一层SiON增透膜和使用磷酸溶液蚀刻SiON增透膜,使得在ITO透明导电层在芯片的制作流程中避免损伤和污染,提高了ITO透明导电层质量,使得LED芯片亮度提升的同时芯片电压下降,使LED更加节能环保。
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