抛光垫及其制造方法
摘要:
本发明涉及一种抛光垫及其制造方法,抛光垫包括一高分子弹性体及复数个中空结构体。所述中空结构体均匀分布于该高分子弹性体中,且所述中空结构体的尺寸大致相同。
公开/授权文献
0/0