发明公开
- 专利标题: 一种铝蚀刻剂及其制备方法
- 专利标题(英): Aluminum etching agent and preparation method thereof
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申请号: CN201610510486.2申请日: 2016-07-01
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公开(公告)号: CN105970225A公开(公告)日: 2016-09-28
- 发明人: 严增源 , 王国洪 , 陈峰 , 钱海书
- 申请人: 苏州博洋化学股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市高新区浒墅关镇华桥路155号
- 专利权人: 苏州博洋化学股份有限公司
- 当前专利权人: 苏州博洋化学股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市高新区浒墅关镇华桥路155号
- 主分类号: C23F1/20
- IPC分类号: C23F1/20
摘要:
本发明属于化学制剂技术领域,涉及一种铝蚀刻剂及其制备方法,其中铝蚀刻剂配方包括磷酸70~78wt%,硝酸5~6wt%,乙酸6~10wt%,氨基磺酸1~5wt%,其余为水。本发明铝蚀刻液可以将金属化合物转化为可溶性盐类溶于水中,对不同金属的蚀刻速度基本一致,反应稳定,避免沉淀附着影响蚀刻效率和基板表面整洁,方便去除表面污垢。
公开/授权文献
- CN105970225B 一种铝蚀刻剂及其制备方法 公开/授权日:2018-07-13
IPC分类: