一种铝蚀刻剂及其制备方法
摘要:
本发明属于化学制剂技术领域,涉及一种铝蚀刻剂及其制备方法,其中铝蚀刻剂配方包括磷酸70~78wt%,硝酸5~6wt%,乙酸6~10wt%,氨基磺酸1~5wt%,其余为水。本发明铝蚀刻液可以将金属化合物转化为可溶性盐类溶于水中,对不同金属的蚀刻速度基本一致,反应稳定,避免沉淀附着影响蚀刻效率和基板表面整洁,方便去除表面污垢。
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