激光加工装置
摘要:
本发明提供一种能够抑制脉冲能量的偏差的同时抑制加工时间的延长的激光加工装置。光束偏转器使脉冲激光束的入射位置在加工对象物的表面移动,且当移动结束时发送定位结束信号。在切换器处于打开状态时,脉冲激光束从激光光源入射到光束偏转器,处于关闭状态时不入射到光束偏转器。控制装置在向光束偏转器发送移动指令信号之后到接收到定位结束信号为止的期间,使切换器处于关闭状态,并以恒定的第1重复频率发送输出指令信号。若接收到定位结束信号,则从包含第1重复频率的频率变动范围内选择从前一次输出指令信号到下一个输出指令信号为止的第2重复频率。以第2重复频率向激光光源发送下一个输出指令信号,从而在高品质加工模式下进行加工。
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