碳化硅预制件的烧结方法及铝碳化硅板的制备方法
摘要:
本发明公开了一种碳化硅预制件的烧结方法及铝碳化硅板的制备方法,该烧结方法包括以下步骤:将预制件素坯放置在烧结炉中,炉温从室温以5℃/min的速度升温到200℃后,抽取烧结炉中的烟气至燃烧室,燃烧室设置为大火焰。炉温以4℃/min的速度升温到400℃后,调小燃烧室的火焰。炉温以4℃/min升温到600℃后,保温0.5h,增大燃烧室的火焰。停止抽取烟气,封闭烧结炉的烟气出口,炉温以3℃/min升温到850℃,保温1h,炉体冷却,开启炉门,获得碳化硅预制件。上述碳化硅预制件的烧结方法,通过抽取烟气至燃烧室中,促进石蜡蒸汽排出,避免碳化硅预制件表面孔隙产生炭黑残留,排蜡时间大量缩短,缩短了烧结时间。
0/0