发明授权
- 专利标题: 一种掺杂TiO2薄膜的制备方法
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申请号: CN201610295604.2申请日: 2016-05-06
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公开(公告)号: CN105895807B公开(公告)日: 2018-11-16
- 发明人: 张懿强 , 邵国胜 , 梁超 , 李鹏伟
- 申请人: 郑州大学
- 申请人地址: 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号
- 专利权人: 郑州大学
- 当前专利权人: 郑州大学
- 当前专利权人地址: 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号
- 代理机构: 郑州豫开专利代理事务所
- 代理商 张智伟
- 主分类号: H01L51/48
- IPC分类号: H01L51/48 ; H01L51/44 ; H01L51/46
摘要:
本发明属于光电薄膜技术领域,具体公开了一种掺杂TiO2薄膜的制备方法。(1)在搅拌状态下,配制100~400mM的TiCl4水溶液;(2)将掺杂金属的盐根据目标掺杂比例溶入溶解当量的溶剂中,搅拌均匀之后加入到步骤(1)配制好的溶液中;(3)将衬底放入步骤(2)获得的溶液中,控制溶液温度在70~150℃,保温10min~5h;(4)取出衬底,依次用乙醇和水进行清洗;(5)将清洗后的衬底控温在100~150℃退火30min~3h,衬底上的生成物即为掺杂TiO2薄膜。本发明方法可以从溶液中直接获得致密的掺杂TiO2薄膜,整个过程在低温常压环境下进行,并且是在衬底上一次成膜;最后,本发明提供了通过低温制备不同元素掺杂的TiO2薄膜,并且使钙钛矿太阳电池的性能获得了显著提升。
公开/授权文献
- CN105895807A 一种掺杂TiO2薄膜的制备方法 公开/授权日:2016-08-24
IPC分类: