一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法
摘要:
本发明公开了一种炭/炭复合材料耐高温氧化涂层的制备方法,该方法通过以下技术方案实现:使用等离子体表面活化技术和双辉等离子表面冶金技术,先用氢等离子体刻蚀,活化炭/炭复合材料工件表面;然后以镍靶作为源极,在工件表面制备镍渗层;再以铬靶作为源极制备镍‑铬复合渗镀涂层,最后使用硅氧烷作为前驱体、氧气作为反应气体,在工件表面制备氧化铬和氧化硅的复合涂层。本发明制备的涂层与基体结合强度高,涂层成分呈梯度分布,能够提高炭/炭复合材料的耐高温氧化性能。涂层的制备在一种装置中完成,工艺简单、成本低。
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