发明授权
- 专利标题: 激光聚焦光斑定位方法及装置
-
申请号: CN201610304773.8申请日: 2016-05-10
-
公开(公告)号: CN105855696B公开(公告)日: 2018-05-22
- 发明人: 王宁 , 杨小君 , 康伟 , 田冰心
- 申请人: 西安中科微精光子制造科技有限公司
- 申请人地址: 陕西省西安市高新区新型工业园西部大道60号
- 专利权人: 西安中科微精光子制造科技有限公司
- 当前专利权人: 西安中科微精光子科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市高新区新型工业园西部大道60号
- 代理机构: 深圳市科进知识产权代理事务所
- 代理商 郝明琴
- 主分类号: B23K26/042
- IPC分类号: B23K26/042
摘要:
本发明提供一种激光聚焦光斑定位装置,其包括至少具有X轴、Y轴、Z轴和工作台的机床、设置于所述Z轴的扫描头、设置于所述扫描头下方的聚焦镜、用于夹持一个标准块进行定位的夹具及传感器,所述工作台设置于所述X轴和所述Y轴、且通过所述X轴和所述Y轴实现移动,所述夹具和所述传感器均设置于所述工作台,所述传感器获取所述聚焦镜聚焦形成的激光聚焦光斑的坐标。本发明还提供一种激光聚焦光斑定位方法,采用非接触的方式将激光聚焦光斑位置和工件被加工区域的位置相重合,克服了接触式测量中对加工工件定位不准确的问题,从而可实现高精度的加工定位。所述激光聚焦光斑定位装置结构简单,易于操作实现所述激光聚焦光斑定位方法。
公开/授权文献
- CN105855696A 激光聚焦光斑定位方法及装置 公开/授权日:2016-08-17
IPC分类: