一种三族氮化物基双异质结光电晶体管
摘要:
一种三族氮化物基双异质结光电晶体管,属于半导体器件技术领域。一种三族氮化物基双异质结光电晶体管及其制备方法,包括衬底及生长于衬底之上的外延层,外延层自下而上的顺序依次为缓冲层或过渡层,施主重掺杂欧姆接触层,合金组分渐变层,较大禁带宽度材料的施主掺杂层,较大禁带宽度材料的非故意掺杂层,受主掺杂层,非故意掺杂光吸收层,合金组分渐变层,较大禁带宽度材料的施主掺杂窗口层。本发明采用集电区上置结构,并采用禁带宽度较光吸收层大的三族氮化物多元合金材料作为入射光的窗口层,提高量子效率,增加光生空穴数量,从而提高器件的光电增益;在下置的发射区中采用反向异质结作为发射结,并导入较大禁带宽度材料的非故意掺杂层作为受主掺杂扩散阻挡层及基区‑发射区异质界面能带凹陷补偿层,提高晶体管电子注入效率。本发明具有光电增益高、器件性能稳定等特点。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L31/00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或设备;其零部件(H01L51/42优先;由形成在一共用衬底内或其上的多个固态组件,而不是辐射敏感元件与一个或多个电光源的结合所组成的器件入H01L27/00)
H01L31/08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31/10 ..特点在于至少有一个电位跃变势垒或表面势垒的,例如光敏晶体管
H01L31/101 ...对红外、可见或紫外辐射敏感的器件
H01L31/11 ....以两个势垒或面垒为特征的,如双极光晶体管
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