一种绝缘栅双极型晶体管的关断性能提升方法
Abstract:
一种绝缘栅双极型晶体管结构,包括集电极金属、P型集电区、N型基极区,N型基极区表面有N型载流子存储层及沟槽柵,沟槽柵将N型载流子存储层分割成条状,条状N型载流子存储层表面存在均匀分布的块状P型体区,块状载流子存储层上设有与第一类型柵氧化层连接的第二类型柵氧化层,第二类型柵氧化层上设有与第一多晶硅柵连接的第二多晶硅柵,块状P型体区表面存在P型源区、N型源区,并与发射极金属连接,其特征在于,块状载流子存储层表面设有与块状P型体区连接的轻掺杂浅P阱,在器件导通时,栅极加正栅压,轻掺杂浅P阱被完全耗尽,实现注入效率增强效应,使器件具有较小的导通压降;在器件关断时,轻掺杂浅P阱不被完全耗尽,形成导电沟道,加快器件关断速度。
Public/Granted literature
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/70 ...双极器件
H01L29/72 ....晶体管型器件,如连续响应于所施加的控制信号的
H01L29/739 .....受场效应控制的
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