发明授权
CN105606901B 一种带有过滤装置的MEMS海水电导率传感器
失效 - 权利终止
摘要:
本发明公开了一种带有过滤装置的MEMS海水电导率传感器,包括绝缘衬底、四个金属电极和过滤装置,所述的过滤装置为矩形盒盖状,其顶面上有过滤孔阵列,过滤装置通过其沿部覆盖在绝缘衬底的上端面上,过滤装置与绝缘衬底之间形成的空腔为电导池,四个金属电极均设置于电导池内的绝缘衬底上,四个金属电极分别通过连接引线与外界测试电路相连。与现有技术相比,本发明的有益效果是:克服了现有MEMS电导率传感器抗污染能力差、测量精度低的缺点;具有结构简单、体积小巧、功耗低、成本低、通用性强等优点,便于实现实时高精度的海水电导率测量。
公开/授权文献
- CN105606901A 一种带有过滤装置的MEMS海水电导率传感器 公开/授权日:2016-05-25