• 专利标题: 一种带有过滤装置的MEMS海水电导率传感器
  • 专利标题(英): MEMS seawater conductivity sensor with filtering device
  • 申请号: CN201510987749.4
    申请日: 2015-12-24
  • 公开(公告)号: CN105606901A
    公开(公告)日: 2016-05-25
  • 发明人: 刘海韵王娴珏魏爽平学伟
  • 申请人: 河海大学
  • 申请人地址: 江苏省南京市江宁开发区佛城西路8号
  • 专利权人: 河海大学
  • 当前专利权人: 河海大学
  • 当前专利权人地址: 江苏省南京市江宁开发区佛城西路8号
  • 代理机构: 南京经纬专利商标代理有限公司
  • 代理商 钱丽
  • 主分类号: G01R27/22
  • IPC分类号: G01R27/22
一种带有过滤装置的MEMS海水电导率传感器
摘要:
本发明公开了一种带有过滤装置的MEMS海水电导率传感器,包括绝缘衬底、四个金属电极和过滤装置,所述的过滤装置为矩形盒盖状,其顶面上有过滤孔阵列,过滤装置通过其沿部覆盖在绝缘衬底的上端面上,过滤装置与绝缘衬底之间形成的空腔为电导池,四个金属电极均设置于电导池内的绝缘衬底上,四个金属电极分别通过连接引线与外界测试电路相连。与现有技术相比,本发明的有益效果是:克服了现有MEMS电导率传感器抗污染能力差、测量精度低的缺点;具有结构简单、体积小巧、功耗低、成本低、通用性强等优点,便于实现实时高精度的海水电导率测量。
公开/授权文献
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