改善石墨膜的平坦性的方法、以及石墨膜及其制造方法
摘要:
平坦性差的原料石墨膜在进行与其它材料的层压时会发生产生褶皱等不良情况。特别是对于大面积的石墨膜,往往会发生产生褶皱等不良情况。为了解决该问题而实施平坦性矫正处理工序,该工序中,一边对原料石墨膜施加压力,一边进行热处理直至2000℃以上。通过该平坦性矫正处理,可获得平坦性良好的石墨膜。进一步利用内芯的热膨胀进行矫正时,可获得松弛度小的石墨膜。
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