设置有连接片的光学结构和用于制造该光学结构的方法
摘要:
本发明描述一种具有光学结构、连接片和静电致动器的设备,所述静电致动器具有悬臂式电极,其中连接片将光学结构与用于承载的结构连接,并且静电驱动器构成用于使光学结构转向。
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