在脉冲双磁控管溅射(DMS)工艺中平衡靶消耗的系统和方法
摘要:
本发明公开了一种溅射系统和方法。所述系统具有至少一个具有第一磁控管和第二磁控管的双磁控管对,配置每个磁控管以支持靶材。所述系统还具有DMS组件,该DMS组件具有与开关组件和电压传感器连接的直流电源。配置所述DMS组件以独立地控制对每个磁控管的功率的施加,以及提供每个磁控管的电压的测量。所述系统还具有一个或多个致动器,配置所述致动器以使用由所述DMS组件提供的测量控制每个磁控管的电压。配置所述DMS组件和所述一个或多个致动器以响应每个磁控管的电压的测量,通过控制施加到每个磁控管的功率和电压,平衡靶材的消耗。
0/0