发明公开
CN105514184A 一种IBC电池制造方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种IBC电池制造方法
- 专利标题(英): IBC cell manufacturing method
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申请号: CN201510887048.3申请日: 2015-12-07
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公开(公告)号: CN105514184A公开(公告)日: 2016-04-20
- 发明人: 雷刚 , 石梦奇 , 曹佳晔 , 范襄 , 池卫英
- 申请人: 上海空间电源研究所
- 申请人地址: 上海市闵行区东川路2965号
- 专利权人: 上海空间电源研究所
- 当前专利权人: 上海空间电源研究所
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区东川路2965号
- 代理机构: 上海航天局专利中心
- 代理商 金家山
- 主分类号: H01L31/0224
- IPC分类号: H01L31/0224 ; H01L31/18
摘要:
本发明公开一种IBC电池制造方法,在该制造方法中,采用碱腐蚀的方法在硅片的正面(即受光面)制作绒面陷光结构;采用离子注入的方法在硅片的背面制备出发射极和背场,离子束通过扫描的方式在硅片的特定区域有选择地进行掺杂,最终形成指状结构的发射极和背场;采用PECVD的方法在硅片的正面和背面淀积钝化层或减反射膜;采用丝网印刷的方法在硅片的背面制备电极。由于本发明采用离子注入的方法在硅片的背面直接制备出发射极和背场所需的图形,无需采用光刻技术或其他精确图形化技术,因此生产工序简单,生产成本较低。
IPC分类: