提高紫外LED紫外光纯度的结构及其方法
摘要:
本发明公开了一种提高紫外LED紫外光纯度的结构,包括Mg掺杂氮化镓层、活性层、高纯度不掺杂氮化镓层、Si掺杂GaN层、缓冲层和衬,其中,所述缓冲层生长在所述衬底上部;所述Si掺杂GaN层生长在所述缓冲层上部;所述活性层生长在所述高纯度不掺杂氮化镓层上部;所述Mg掺杂氮化镓层生长在所述活性层上部。本发明所述提高紫外LED紫外光纯度的结构及其方法通过引入高纯度不掺杂的氮化镓层,降低活性层中Mg元素的浓度,进而降低紫外LED中蓝色光的发光强度,提高紫外LED的紫外光纯度。
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