- 专利标题: 压力传感器装置以及压力传感器装置的制造方法
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申请号: CN201510471543.6申请日: 2015-08-04
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公开(公告)号: CN105424260B公开(公告)日: 2020-02-28
- 发明人: 佐藤荣亮 , 篠田茂 , 芦野仁泰
- 申请人: 富士电机株式会社
- 申请人地址: 日本神奈川县川崎市
- 专利权人: 富士电机株式会社
- 当前专利权人: 富士电机株式会社
- 当前专利权人地址: 日本神奈川县川崎市
- 代理机构: 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 金玉兰; 王颖
- 优先权: 2014-189476 2014.09.17 JP
- 主分类号: G01L9/00
- IPC分类号: G01L9/00 ; G01L9/04
摘要:
本发明提供一种能够降低成本的压力传感器装置和压力传感器装置的制造方法。以使隔膜与贯通孔对准的方式接合基座部件和压力传感器芯片。以使金属管部件和基座部件的贯通孔相连的方式配置并接合金属管部件和基座部件。金属管部件具有凸部和阶梯部,凸部比阶梯部更靠近基座部件侧,阶梯部的沿贯通孔的直径方向的端部相对于凸部向外突出。金属管部件的凸部的壁厚度比金属管部件的阶梯部的厚度小。在金属管部件从凸部的在阶梯部侧的部分至阶梯部的在与压力导入口相反侧的面抵接到树脂壳体,并且阶梯部的端部的至少在压力导入口侧的角部被树脂壳体覆盖的状态下,金属管部件与树脂壳体一体成型。
公开/授权文献
- CN105424260A 压力传感器装置以及压力传感器装置的制造方法 公开/授权日:2016-03-23