发明授权
- 专利标题： 适应于间接冷却装置的具有冷却板的靶
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申请号： CN201480033082.8申请日： 2014-06-30
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公开(公告)号： CN105283577B公开(公告)日： 2018-11-20
- 发明人: 徳尼斯·库拉珀夫 , 西格弗里德·克拉斯尼策尔
- 申请人： 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔
- 申请人地址： 瑞士普费菲孔市库尔街120
- 专利权人： 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔
- 当前专利权人： 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔
- 当前专利权人地址： 瑞士普费菲孔市库尔街120
- 代理机构： 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司
- 代理商 何志欣
- 国际申请： PCT/EP2014/001782 2014.06.30
- 国际公布： WO2015/000577 DE 2015.01.08
- 进入国家日期： 2015-12-10
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34 ; H01J37/34
摘要：
本发明涉及一种靶冷却装置，其具有包括冷却通道的组成部分和另一个导热板，所述另一个导热板可分离地与所述组成部分的冷侧相连，其中，所述冷侧是所述冷却通道施展其作用的一侧，其特征是，在所述另一个导热板和所述组成部分的冷侧之间设有第一自粘碳膜，所述第一自粘碳膜大面积地自粘附到所述另一个导热板的朝向所述冷侧的一侧面上。
公开/授权文献
- CN105283577A 适应于间接冷却装置的具有冷却板的靶 公开/授权日：2016-01-27
IPC分类:
