一种发光二极管制备方法
摘要:
本发明公开了一种发光二极管制备方法,属于发光二极管领域。所述方法包括:提供一衬底;在衬底上制作外延结构,得到发光二极管外延片;在外延结构的表面制作P电极,在衬底的底面制作N电极;采用刻蚀工艺在外延结构上制作出切割道图形,切割道图形包括矩形网格状凹槽,切割道图形将发光二极管外延片划分为多个区域,发光二极管外延片的一个区域为一个待切割的发光二极管芯粒。本发明通过在外延结构和PN电极制成后,采用刻蚀工艺在外延结构上制作切割道图形,与传统工艺中采用刀片切割机半切的切割道相比,无需采用刀片切割机进行半切,减少了刀片切割机的数量需求,节省了成本,且采用刻蚀工艺制作切割道图形,效率更高。
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