发明授权
- 专利标题: 一种发光二极管制备方法
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申请号: CN201510514449.4申请日: 2015-08-20
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公开(公告)号: CN105206573B公开(公告)日: 2018-05-22
- 发明人: 薛蕾 , 高本良 , 葛丁壹 , 郭磊 , 周杰 , 常远
- 申请人: 华灿光电(苏州)有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市张家港市经济开发区晨丰公路
- 专利权人: 华灿光电(苏州)有限公司
- 当前专利权人: 华灿光电(苏州)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市张家港市经济开发区晨丰公路
- 代理机构: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 徐立
- 主分类号: H01L21/78
- IPC分类号: H01L21/78 ; H01L21/3065 ; H01L33/00
摘要:
本发明公开了一种发光二极管制备方法,属于发光二极管领域。所述方法包括:提供一衬底;在衬底上制作外延结构,得到发光二极管外延片;在外延结构的表面制作P电极,在衬底的底面制作N电极;采用刻蚀工艺在外延结构上制作出切割道图形,切割道图形包括矩形网格状凹槽,切割道图形将发光二极管外延片划分为多个区域,发光二极管外延片的一个区域为一个待切割的发光二极管芯粒。本发明通过在外延结构和PN电极制成后,采用刻蚀工艺在外延结构上制作切割道图形,与传统工艺中采用刀片切割机半切的切割道相比,无需采用刀片切割机进行半切,减少了刀片切割机的数量需求,节省了成本,且采用刻蚀工艺制作切割道图形,效率更高。
公开/授权文献
- CN105206573A 一种发光二极管制备方法 公开/授权日:2015-12-30
IPC分类: