具有二次窗密封的抛光垫
摘要:
一种抛光制件,所述抛光制件具有抛光表面及孔,所述孔包括第一区段及第二区段。抛光制件包括向内延伸至孔中的突出部。抛光制件在远离抛光表面的第一表面的侧上包括下部。窗具有位于孔的第一区段中的第一部分及延伸至孔的第二区段中的第二部分。窗具有大体上平行于抛光表面的第二表面。第一黏合剂将突出部的第一表面黏合至窗的第二表面以将窗固定至突出部,且第二黏合剂具有与第一黏合剂不同的材料成分。第二黏合剂横向地位于窗的第二部分与抛光制件的下部之间。
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