发明公开
- 专利标题: 具有二次窗密封的抛光垫
- 专利标题(英): Polishing pad with secondary window seal
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申请号: CN201480015298.1申请日: 2014-03-13
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公开(公告)号: CN105144349A公开(公告)日: 2015-12-09
- 发明人: 拉杰库马尔·阿拉加萨米 , 永琪·胡 , 西蒙·亚沃伯格 , 佩里亚·戈帕兰 , 克里斯托弗·R·马洪
- 申请人: 应用材料公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 赵静
- 优先权: 13/839,899 2013.03.15 US
- 国际申请: PCT/US2014/026455 2014.03.13
- 国际公布: WO2014/151791 EN 2014.09.25
- 进入国家日期: 2015-09-14
- 主分类号: H01L21/304
- IPC分类号: H01L21/304
摘要:
一种抛光制件,所述抛光制件具有抛光表面及孔,所述孔包括第一区段及第二区段。抛光制件包括向内延伸至孔中的突出部。抛光制件在远离抛光表面的第一表面的侧上包括下部。窗具有位于孔的第一区段中的第一部分及延伸至孔的第二区段中的第二部分。窗具有大体上平行于抛光表面的第二表面。第一黏合剂将突出部的第一表面黏合至窗的第二表面以将窗固定至突出部,且第二黏合剂具有与第一黏合剂不同的材料成分。第二黏合剂横向地位于窗的第二部分与抛光制件的下部之间。
公开/授权文献
- CN105144349B 具有二次窗密封的抛光垫 公开/授权日:2017-06-16
IPC分类: