Invention Publication
- Patent Title: 膜生产方法、膜生产过程监控装置和膜检查方法
- Patent Title (English): Method for manufacturing film, film-manufacturing process monitor device, and method for inspecting film
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Application No.: CN201480008144.XApplication Date: 2014-03-03
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Publication No.: CN105074429APublication Date: 2015-11-18
- Inventor: 木村彰纪 , 森岛哲 , 伊藤真澄 , 菅沼宽
- Applicant: 住友电气工业株式会社
- Applicant Address: 日本大阪府
- Assignee: 住友电气工业株式会社
- Current Assignee: 住友电气工业株式会社
- Current Assignee Address: 日本大阪府
- Agency: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- Agent 顾红霞; 何胜勇
- Priority: 2013-053267 2013.03.15 JP
- International Application: PCT/JP2014/055223 2014.03.03
- International Announcement: WO2014/141910 JA 2014.09.18
- Date entered country: 2015-08-10
- Main IPC: G01N21/3563
- IPC: G01N21/3563 ; C08J5/18

Abstract:
本发明的目的在于使用简单的方法以高精度确定膜的特性。一种使用膜生成过程监控装置(100)制造膜的方法(1)包括:波谱获取步骤,其用于从光源(10)朝向沿方向A移动的膜(1)照射宽带光(L1)(其为近红外光),从而在光接收单元(30)中接收从膜(1)发出的漫反射光(L2),并由此在分析仪(40)的波谱获取单元(40a)中获取漫反射光(L2)的波谱;以及物理值计算步骤,其用于根据所获取的漫反射光(L2)的波谱计算与膜(1)相关的物理值。由于通过获取波谱可以得到表示膜(1)的特性的物理值,因此可以以简单的方式确定膜的特性,并且例如可以从波谱获取多条信息。因此,可以以高精度确定膜的特性。
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