一种FFS阵列基板的制造方法
摘要:
本发明提供一种FFS阵列基板的制造方法,包括以下步骤:在玻璃基板上形成栅极与公共电极,所述栅极形成在所述公共电极的一部分上面;在所述栅极与所述公共电极上形成一层栅极绝缘层;在所述栅极绝缘层上沉淀一层透明金属氧化物半导体层并对所述透明金属氧化物半导体层进行一次图案化处理,以形成半导体有源层前体与像素电极前体;对所述半导体有源层前体的没留有光阻层的两端及所述像素电极前体进行离子注入处理以使它们形成透明导体;最后在所述半导体有源层上形成源极与漏极。本发明的制造方法能够减少FFS阵列基板制造所需光罩次数,提高FFS阵列基板的制造效率。
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