发明公开
CN105068335A 一种FFS阵列基板的制造方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 一种FFS阵列基板的制造方法
- 专利标题(英): Manufacturing method for FFS array substrate
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申请号: CN201510493112.X申请日: 2015-08-12
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公开(公告)号: CN105068335A公开(公告)日: 2015-11-18
- 发明人: 葛世民
- 申请人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号
- 专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号
- 代理机构: 深圳翼盛智成知识产权事务所
- 代理商 黄威
- 主分类号: G02F1/1343
- IPC分类号: G02F1/1343 ; G02F1/1333 ; G02F1/1362
摘要:
本发明提供一种FFS阵列基板的制造方法,包括以下步骤:在玻璃基板上形成栅极与公共电极,所述栅极形成在所述公共电极的一部分上面;在所述栅极与所述公共电极上形成一层栅极绝缘层;在所述栅极绝缘层上沉淀一层透明金属氧化物半导体层并对所述透明金属氧化物半导体层进行一次图案化处理,以形成半导体有源层前体与像素电极前体;对所述半导体有源层前体的没留有光阻层的两端及所述像素电极前体进行离子注入处理以使它们形成透明导体;最后在所述半导体有源层上形成源极与漏极。本发明的制造方法能够减少FFS阵列基板制造所需光罩次数,提高FFS阵列基板的制造效率。
IPC分类: