发明授权
- 专利标题: 制备石英玻璃砣的沉积炉
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申请号: CN201510420100.4申请日: 2015-07-16
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公开(公告)号: CN105036520B公开(公告)日: 2018-04-10
- 发明人: 王玉芬 , 聂兰舰 , 向在奎 , 饶传东 , 王宏杰 , 刘飞翔
- 申请人: 中国建筑材料科学研究总院
- 申请人地址: 北京市朝阳区管庄东里1号
- 专利权人: 中国建筑材料科学研究总院
- 当前专利权人: 中国建筑材料科学研究总院
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区管庄东里1号
- 代理机构: 北京鼎佳达知识产权代理事务所
- 代理商 王伟锋; 刘铁生
- 主分类号: C03B5/00
- IPC分类号: C03B5/00
摘要:
本发明公开了一种制备石英玻璃砣的沉积炉,包括:炉体,所述炉体由炉顶、炉壁和炉底组成,所述炉顶、炉壁和炉底围成炉膛;燃烧器,设置于炉顶;基础杆,自所述炉底垂直伸入到所述炉膛内,所述基础杆可相对于炉体在垂直方向上移动,所述基础杆可以其轴线为旋转轴转动;沉积基底,设于基础杆的顶部,与基础杆固定连接,所述沉积基底的直径大于基础杆的直径,所述沉积基底为石英玻璃砣的沉积提供基础;辅助加热装置,在所述炉膛内围绕沉积基底的外围设置,用于提高石英玻璃沉积砣边缘温度。本发明减小了沉积面的温度梯度,提高石英玻璃砣组分分布的一致性,生产出径向与轴向结构均匀的石英玻璃砣。
公开/授权文献
- CN105036520A 制备石英玻璃砣的沉积炉 公开/授权日:2015-11-11