制备石英玻璃砣的沉积炉
摘要:
本发明公开了一种制备石英玻璃砣的沉积炉,包括:炉体,所述炉体由炉顶、炉壁和炉底组成,所述炉顶、炉壁和炉底围成炉膛;燃烧器,设置于炉顶;基础杆,自所述炉底垂直伸入到所述炉膛内,所述基础杆可相对于炉体在垂直方向上移动,所述基础杆可以其轴线为旋转轴转动;沉积基底,设于基础杆的顶部,与基础杆固定连接,所述沉积基底的直径大于基础杆的直径,所述沉积基底为石英玻璃砣的沉积提供基础;辅助加热装置,在所述炉膛内围绕沉积基底的外围设置,用于提高石英玻璃沉积砣边缘温度。本发明减小了沉积面的温度梯度,提高石英玻璃砣组分分布的一致性,生产出径向与轴向结构均匀的石英玻璃砣。
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