发明公开
- 专利标题: 具电性连接结构的基板及其制法
- 专利标题(英): Substrate having electrical interconnection structure and fabrication method thereof
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申请号: CN201410408637.4申请日: 2014-08-19
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公开(公告)号: CN105023906A公开(公告)日: 2015-11-04
- 发明人: 吴柏毅 , 杨侃儒 , 黄晓君 , 庄建隆 , 马光华 , 卢俊宏
- 申请人: 矽品精密工业股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾台中市
- 专利权人: 矽品精密工业股份有限公司
- 当前专利权人: 矽品精密工业股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾台中市
- 代理机构: 北京戈程知识产权代理有限公司
- 代理商 程伟; 王锦阳
- 优先权: 103113822 2014.04.16 TW; 103125795 2014.07.29 TW
- 主分类号: H01L23/498
- IPC分类号: H01L23/498 ; H01L21/48
摘要:
一种具电性连接结构的基板及其制法,具电性连接结构的基板的制法,先提供一具有电性接触垫、设于其表面上且对应外露该电性接触垫的第一及第二钝化层的板体,再形成晶种层于该第二钝化层与该电性接触垫上。接着,形成第一金属层于该电性接触垫上且埋设于该第一与第二钝化层中,而未凸出该第二钝化层,再形成第二金属层于该第一金属层上且凸出该第二钝化层,以于之后蚀刻移除该第二钝化层上的晶种层时,蚀刻液不会侵蚀该第一金属层,因而该第二金属层下方不会产生底切结构。
公开/授权文献
- CN105023906B 具电性连接结构的基板及其制法 公开/授权日:2018-10-09
IPC分类: