具电性连接结构的基板及其制法
摘要:
一种具电性连接结构的基板及其制法,具电性连接结构的基板的制法,先提供一具有电性接触垫、设于其表面上且对应外露该电性接触垫的第一及第二钝化层的板体,再形成晶种层于该第二钝化层与该电性接触垫上。接着,形成第一金属层于该电性接触垫上且埋设于该第一与第二钝化层中,而未凸出该第二钝化层,再形成第二金属层于该第一金属层上且凸出该第二钝化层,以于之后蚀刻移除该第二钝化层上的晶种层时,蚀刻液不会侵蚀该第一金属层,因而该第二金属层下方不会产生底切结构。
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