一种非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元
摘要:
本发明公开了一种非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元,旨在提供一种测量分辨率高、灵敏度高的非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元。它包括由半透明金属层、有机介质层及反射金属层叠置构成的谐振腔,以及固定设置于谐振腔下方用于实现光电信号转换的探测器单元;所述谐振腔的半透明金属层、有机介质层及反射金属层中至少一层设置有镂空的线条和/或图形。本发明通过对谐振腔的相应层进行镂空,有效减小谐振腔的热串扰,提高探测器单元的空间分辨率。
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