包括用于提供多次成像和测量能力的可插入组件的3D显微镜
摘要:
本申请公开了一种包括用于提供多次成像和测量能力的可插入组件的3D显微镜。一种三维(3D)显微镜包括有助于多次成像和测量能力的多个可插入的组件。这些能力包括Nomarski成像、偏振光成像、定量差分干涉对比度(q‑DIC)成像、机动偏振光成像、相移干涉测量法(PSI)以及垂直扫描干涉测量法(VSI)。
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