发明授权
CN104949630B 一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置
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申请号: CN201410113337.3申请日: 2014-03-25
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公开(公告)号: CN104949630B公开(公告)日: 2017-06-20
- 发明人: 高志山 , 李闽珏 , 杨忠明 , 史琪琪 , 王新星 , 田雪 , 王帅 , 窦健泰
- 申请人: 南京理工大学
- 申请人地址: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
- 专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
- 代理机构: 南京理工大学专利中心
- 代理商 朱显国
- 主分类号: G01B11/24
- IPC分类号: G01B11/24
摘要:
本发明公开了一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置。线偏振激光器出射的光经过二分之一波片、第一四分之一波片、第一分光镜后分为两束,透射部分通过两个反射镜和第二分光镜后进入准直扩束系统,反射部分通过第二四分之一波片、两个反射镜、第三四分之一波片后产生旋向与透射部分相反的圆偏振光,并经过第二分光镜进入准直扩束系统,两束光会合后通过显微物镜会聚到点衍射孔上,衍射出含有左旋和右旋两束光的近似标准球面波,测试光经待测件反射、点衍射板反射后与旋向相反的参考光会合,经过第四四分之一波片和检偏器后得到干涉条纹,通过旋转检偏器来实现干涉条纹对比度可调。本发明实现了条纹对比度可调,测量精度高。
公开/授权文献
- CN104949630A 一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置 公开/授权日:2015-09-30