NOR型闪存存储器及其制造方法
摘要:
本发明公开一种NOR型闪存存储器及其制造方法,其包括设置在基底上的存储单元。存储单元,包括:堆叠栅极结构、辅助栅极、辅助栅极介电层、淡掺杂区、漏极区。堆叠栅极结构设置在基底上。辅助栅极设置在堆叠栅极结构的第一侧的基底上。辅助栅极介电层设置在辅助栅极与基底之间。淡掺杂区设置在辅助栅极下方的基底中,其中通过在辅助栅极施加一电压而在辅助栅极下方的基底中形成反转层以作为源极区。漏极区,设置在堆叠栅极结构的第二侧的基底中,第一侧与第二侧相对。
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