- 专利标题: 坩埚隔绝层的制造方法及其所应用的喷涂装置
-
申请号: CN201510103363.2申请日: 2015-03-10
-
公开(公告)号: CN104909824B公开(公告)日: 2017-01-25
- 发明人: 周鸿升 , 李立伟 , 余文怀 , 许松林 , 范俊一 , 徐文庆
- 申请人: 昆山中辰矽晶有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市昆山市开发区高科技工业园汉浦路303号
- 专利权人: 昆山中辰矽晶有限公司
- 当前专利权人: 昆山中辰矽晶有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市昆山市开发区高科技工业园汉浦路303号
- 代理机构: 上海翼胜专利商标事务所
- 代理商 翟羽
- 优先权: 103108664 2014.03.12 TW
- 主分类号: C04B41/50
- IPC分类号: C04B41/50
摘要:
本发明提供一种坩埚隔绝层的制造方法及其所应用的喷涂装置,所述方法包括如下步骤:提供喷涂装置,以供下述喷涂步骤使用;加热坩埚并测量其温度,以得到喷涂前温度;采用喷涂单元依照预设喷涂手段将浆料喷涂在坩埚内壁面,以在坩埚内壁面成形隔绝层;测量隔绝层以得到喷涂后温度;取得坩埚在喷涂前后温度的实际差值,并判断实际差值是否落入预设差值范围,其中,预设差值范围为6℃至12℃,当实际差值未落入预设差值范围,则变更预设喷涂手段;当实际差值落入预设差值范围,则对该坩埚重复上述的喷涂步骤。
公开/授权文献
- CN104909824A 坩埚隔绝层的制造方法及其所应用的喷涂装置 公开/授权日:2015-09-16