坩埚隔绝层的制造方法及其所应用的喷涂装置
摘要:
本发明提供一种坩埚隔绝层的制造方法及其所应用的喷涂装置,所述方法包括如下步骤:提供喷涂装置,以供下述喷涂步骤使用;加热坩埚并测量其温度,以得到喷涂前温度;采用喷涂单元依照预设喷涂手段将浆料喷涂在坩埚内壁面,以在坩埚内壁面成形隔绝层;测量隔绝层以得到喷涂后温度;取得坩埚在喷涂前后温度的实际差值,并判断实际差值是否落入预设差值范围,其中,预设差值范围为6℃至12℃,当实际差值未落入预设差值范围,则变更预设喷涂手段;当实际差值落入预设差值范围,则对该坩埚重复上述的喷涂步骤。
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