Invention Grant
- Patent Title: 一种MEMS压力传感元件
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Application No.: CN201510368749.6Application Date: 2015-06-29
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Publication No.: CN104897334BPublication Date: 2017-07-21
- Inventor: 郑国光
- Applicant: 歌尔股份有限公司
- Applicant Address: 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号
- Assignee: 歌尔股份有限公司
- Current Assignee: 歌尔微电子股份有限公司
- Current Assignee Address: 266104 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼
- Agency: 北京博雅睿泉专利代理事务所
- Agent 马佑平; 马铁良
- Main IPC: G01L9/12
- IPC: G01L9/12 ; B81B3/00

Abstract:
本发明公开了一种MEMS压力传感元件,包括:设有凹槽的基底;设置于基底上方的压力敏感膜,压力敏感膜密封凹槽的开口以形成密封腔体;位于密封腔体内的构成电容结构的可动极板和固定极板;其中,固定极板固定于基底凹槽的底壁,可动极板悬置于固定极板的上方并且与固定极板相对;压力敏感膜与可动极板连接,以在外界压力作用下带动可动极板运动。本发明的MEMS压力传感元件将压力敏感和电学检测分开,将压力敏感膜暴露在空气中,将电容结构设置在由压力敏感膜和基底围成的密封腔中,电容结构的可动极板由压力敏感膜带动,这样既完成压力敏感的功能,又屏蔽了外界对电容结构的电磁干扰。
Public/Granted literature
- CN104897334A 一种MEMS压力传感元件 Public/Granted day:2015-09-09
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