发明公开
CN104885202A 切割片用基材膜及具备该基材膜的切割片
失效 - 权利终止
- 专利标题: 切割片用基材膜及具备该基材膜的切割片
- 专利标题(英): Dicing sheet substrate film, and dicing sheet provided with said substrate film
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申请号: CN201380066699.5申请日: 2013-03-04
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公开(公告)号: CN104885202A公开(公告)日: 2015-09-02
- 发明人: 田矢直纪 , 上田公史 , 伊藤雅春
- 申请人: 琳得科株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 琳得科株式会社
- 当前专利权人: 琳得科株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 谢顺星; 张晶
- 国际申请: PCT/JP2013/055840 2013.03.04
- 国际公布: WO2014/136181 JA 2014.09.12
- 进入国家日期: 2015-06-18
- 主分类号: H01L21/301
- IPC分类号: H01L21/301
摘要:
本发明提供一种切割片用基材膜,可不赋予电子线或γ线等的物理能量,在全切过程中有效地减少被切断物在切割时产生的切割屑,作为在扩展步骤中具有优异伸长性的切割片用基材膜,为具备树脂层(A)的切割片用基材膜(2),树脂层(A)提供含有聚乙烯和乙烯-四环十二烯共聚物的基材膜(2),同时提供具备所述切割用基材膜的切割片。
公开/授权文献
- CN104885202B 切割片用基材膜及具备该基材膜的切割片 公开/授权日:2017-07-11
IPC分类: