发明授权
- 专利标题: 灭弧方法和具有功率转换器的功率供送系统
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申请号: CN201380066339.5申请日: 2013-12-18
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公开(公告)号: CN104871285B公开(公告)日: 2018-01-05
- 发明人: A·格雷德 , D·克劳瑟 , A·拉班茨 , C·托默 , A·佩娜维达尔
- 申请人: 通快许廷格两合公司
- 申请人地址: 德国弗赖堡
- 专利权人: 通快许廷格两合公司
- 当前专利权人: 通快许廷格两合公司
- 当前专利权人地址: 德国弗赖堡
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 王琼
- 优先权: 102012223659.7 2012.12.18 DE
- 国际申请: PCT/DE2013/100430 2013.12.18
- 国际公布: WO2014/094738 DE 2014.06.26
- 进入国家日期: 2015-06-18
- 主分类号: H01J37/32
- IPC分类号: H01J37/32
摘要:
一种用于在等离子体系统(1)的等离子体腔室(6)中的灭弧的灭弧方法,包括以下方法步骤:a.在等离子体操作期间产生功率,以便在所述等离子体腔室中生成等离子体和以便使用所生成的等离子体来进行等离子体处理过程,其中,数字‑模拟转换器(DAC)(41)生成要提供到放大器路径(31、32)并在那里放大的模拟信号;b.借助于电弧检测针对电弧的产生来监测等离子体系统;c.如果在步骤b中检测到电弧:通过电弧检测装置以使DAC的模拟输出信号被改变的方式来控制DAC。
公开/授权文献
- CN104871285A 灭弧方法和具有功率转换器的功率供送系统 公开/授权日:2015-08-26