Invention Publication
- Patent Title: 用于接合裸芯片模片的方法
- Patent Title (English): Method for bonding bare chip dies
-
Application No.: CN201380065264.9Application Date: 2013-11-08
-
Publication No.: CN104854686APublication Date: 2015-08-19
- Inventor: E·C·P·斯米兹 , S·M·佩林谢莉 , J·范登布兰德 , R·曼丹帕拉姆比尔 , H·F·M·斯霍
- Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO , IMEC非营利协会
- Applicant Address: 荷兰海牙
- Assignee: 荷兰应用自然科学研究组织TNO,IMEC非营利协会
- Current Assignee: 荷兰应用自然科学研究组织TNO,IMEC非营利协会
- Current Assignee Address: 荷兰海牙
- Agency: 上海专利商标事务所有限公司
- Agent 顾嘉运
- Priority: 12192091.2 2012.11.09 EP
- International Application: PCT/NL2013/050800 2013.11.08
- International Announcement: WO2014/073963 EN 2014.05.15
- Date entered country: 2015-06-12
- Main IPC: H01L21/60
- IPC: H01L21/60 ; H01L21/48 ; B23K3/06 ; B23K35/26 ; C09J9/02 ; H01L23/00 ; H01L33/62 ; H01L23/498 ; H01L23/485 ; H01L21/683

Abstract:
本发明提供一种用于组装一微电子组件的方法,其包含以下步骤:提供一导电模片接合材料,其包含一导电热固性树脂材料或基于助熔剂的焊料及一与该导电热塑性材料模片接合材料层相邻的动态释放层;及照射一激光束在与该模片接合材料层相邻的该动态释放层上;因此该动态释放层被活化以将导电模片接合材料物质导向期望处理的垫结构,以便以一转移的导电模片接合材料覆盖该垫结构的一选中部份;且其中该激光束的时间及能量受限,使得该模片接合材料物质保持热固性。因此,可转移黏着物质同时防止该黏着剂因在该转移过程中过度热暴露而失效。
Public/Granted literature
- CN104854686B 用于接合裸芯片模片的方法 Public/Granted day:2018-11-27
Information query
IPC分类: