一种MEMS麦克风的封装结构
摘要:
本发明公开了一种MEMS麦克风的封装结构,包括由封装壳体围成的封闭内腔,以及位于封闭内腔中的MEMS芯片、ASIC芯片,所述封装壳体上设置有供声音流入的声孔,所述MEMS芯片包括衬底以及设置在衬底上的振膜、背极,所述振膜将封闭内腔分为前腔、背腔,在所述背腔内设置有吸音结构。本发明MEMS麦克风的封装结构,入射声波自封装壳体上的声孔进入MEMS麦克风的前腔,到达振膜的直达声波大部分用来引起振膜的波动,另外很小一部分穿过振膜上的导气孔,进入到背腔,并被位于背腔中的吸音结构吸收掉,使得这些声波不会再发生反射,从而消除了背腔中反射声波对振膜的影响,进而提升了MEMS麦克风的灵敏度和信噪比。
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