封堵蜂窝结构的检查装置和封堵蜂窝结构的检查方法
摘要:
本发明公开一种封堵蜂窝结构的检查装置100。其中,封堵蜂窝结构31作为检查对象,而且,检查装置包含:光源1,该光源1照亮作为检查对象的封堵蜂窝结构31的一端面35;相机侧透镜2,该相机侧透镜2汇聚从光源1发出到一端面35、通过封堵蜂窝结构31的封堵部分传输并且从另一端面36射出的光;相机3,该相机3接收由相机侧透镜2聚焦的光;和图像处理器4,该图像处理器4处理由相机3接收的光的图像,以显示传输通过封堵蜂窝结构31的封堵部分的光的对比度(亮度)。提供一种封堵蜂窝结构的检查装置,其能够在短时间内以无接触方式同时检查封堵部分的深度和缺陷。
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