- 专利标题： 用于有机金属化学气相沉积反应器的平面加热器的加热组件
- 专利标题（英）： Heating element for a planar heater of a mocvd reactor
-
申请号： CN201380041878.3申请日： 2013-08-05
-
公开(公告)号： CN104662197A公开(公告)日： 2015-05-27
- 发明人: 汉斯-彼得·马丁斯 , 曼弗莱德·苏利克 , 瓦迪姆·博古斯拉夫斯基
- 申请人： 普兰西欧洲股份公司 , 威科仪器有限公司
- 申请人地址： 奥地利乐特市
- 专利权人： 普兰西欧洲股份公司,威科仪器有限公司
- 当前专利权人： 普兰西欧洲股份公司,威科仪器有限公司
- 当前专利权人地址： 奥地利乐特市
- 代理机构： 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 丁业平; 金小芳
- 优先权： 13/568,915 2012.08.07 US
- 国际申请： PCT/EP2013/002337 2013.08.05
- 国际公布： WO2014/023414 EN 2014.02.13
- 进入国家日期： 2015-02-06
- 主分类号： C23C16/46
- IPC分类号： C23C16/46 ; H05B3/14 ; H05B3/24
摘要：
本发明涉及一种含有加热体(20)的加热组件(10)，该加热体(20)至少部分地直接被多孔烧结涂层(30)覆盖，其中该加热体(20)及该多孔烧结涂层(30)各自包含至少90重量％的钨。
公开/授权文献
- CN104662197B 用于有机金属化学气相沉积反应器的平面加热器的加热组件 公开/授权日：2016-11-30
IPC分类:
