本发明公开一种循环式均匀蚀刻装置，包括一槽体、一承载板、多条出酸管、一回酸管及多条气泡管，该槽体内容纳有一蚀刻液，该承载板设置于该槽体内且邻近该槽体的底端，该承载板与该槽体的底端共同界定出一回流通道，该些出酸管设置于该承载板上，该回酸管设置于该槽体的底端且连通于该回流通道，该回酸管还经由一回流管路连接该些出酸管，该些气泡管设置于该承载板上，用以施予气泡以促进该蚀刻液的扰动。采用本发明的循环式均匀蚀刻装置，可配合载具所产生的波动使加工件表面均匀薄化。