- 专利标题: GaN基倒装LED微显示结构及其制作方法
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申请号: CN201410788063.8申请日: 2014-12-17
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公开(公告)号: CN104485401B公开(公告)日: 2017-09-12
- 发明人: 吴飞翔 , 李庆 , 晏平 , 陈立人 , 蔡睿彦
- 申请人: 聚灿光电科技股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市工业园区新庆路8号
- 专利权人: 聚灿光电科技股份有限公司
- 当前专利权人: 聚灿光电科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市工业园区新庆路8号
- 代理机构: 苏州威世朋知识产权代理事务所
- 代理商 杨林洁
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/44 ; H01L33/46 ; H01L33/62 ; H01L33/48
摘要:
本发明公开了一种GaN基倒装LED微显示结构及其制作方法,其中制作方法包括如下步骤:S1.提供GaN基倒装LED外延片,对其中p‑GaN层进行ICP刻蚀,形成第一沟槽;S2.ISO刻蚀,对GaN基倒装LED外延片中显示单元进行ICP刻蚀,形成第二沟槽;S3.在n‑GaN层上制作N电极;S4.在第二沟槽处沉积绝缘层,并制作相应绝缘层图形;S5.制作反射镜层和保护金属层;S6.制作保护层,并保留第一引脚和第二引脚;S7.对LED芯片进行研磨、减薄。通过本发明的GaN基倒装LED微显示结构可得到可寻址的微显示LED,配合相应驱动电路,其可实现晶圆级的微显示,拓展了GaN基倒装LED应用领域。
公开/授权文献
- CN104485401A GaN基倒装LED微显示结构及其制作方法 公开/授权日:2015-04-01
IPC分类: