GaN基倒装LED微显示结构及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种GaN基倒装LED微显示结构及其制作方法,其中制作方法包括如下步骤:S1.提供GaN基倒装LED外延片,对其中p‑GaN层进行ICP刻蚀,形成第一沟槽;S2.ISO刻蚀,对GaN基倒装LED外延片中显示单元进行ICP刻蚀,形成第二沟槽;S3.在n‑GaN层上制作N电极;S4.在第二沟槽处沉积绝缘层,并制作相应绝缘层图形;S5.制作反射镜层和保护金属层;S6.制作保护层,并保留第一引脚和第二引脚;S7.对LED芯片进行研磨、减薄。通过本发明的GaN基倒装LED微显示结构可得到可寻址的微显示LED,配合相应驱动电路,其可实现晶圆级的微显示,拓展了GaN基倒装LED应用领域。
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