发明公开
- 专利标题: SiC单晶锭及其制造方法
- 专利标题(英): Sic single crystal ingot and production method therefor
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申请号: CN201380037691.6申请日: 2013-05-08
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公开(公告)号: CN104471118A公开(公告)日: 2015-03-25
- 发明人: 加渡干尚 , 大黑宽典 , 坂元秀光 , 楠一彦 , 冈田信宏
- 申请人: 丰田自动车株式会社 , 新日铁住金株式会社
- 申请人地址: 日本爱知县
- 专利权人: 丰田自动车株式会社,新日铁住金株式会社
- 当前专利权人: 丰田自动车株式会社
- 当前专利权人地址: 日本爱知县
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 李英
- 优先权: 2012-160816 2012.07.19 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/062955 2013.05.08
- 国际公布: WO2014/013773 JA 2014.01.23
- 进入国家日期: 2015-01-15
- 主分类号: C30B29/36
- IPC分类号: C30B29/36 ; C30B19/10
摘要:
提供抑制了夹杂物的产生的高质量SiC单晶锭、以及这样的SiC单晶锭的制造方法。本发明涉及SiC单晶锭,其是包含晶种基板及以所述晶种基板为基点采用溶液法成长的SiC成长结晶的SiC单晶锭,其中,所述成长结晶具有凹形状的结晶成长面并且不含有夹杂物。
公开/授权文献
- CN104471118B SiC单晶锭及其制造方法 公开/授权日:2017-10-27
IPC分类: