• 专利标题: 一种基于应力分布的电子收集器实现方法
  • 申请号: CN201410814988.5
    申请日: 2014-12-24
  • 公开(公告)号: CN104465847B
    公开(公告)日: 2016-06-15
  • 发明人: 周济兰楚文李勃
  • 申请人: 清华大学
  • 申请人地址: 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
  • 专利权人: 清华大学
  • 当前专利权人: 清华大学
  • 当前专利权人地址: 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
  • 代理机构: 北京纪凯知识产权代理有限公司
  • 代理商 徐宁; 刘美丽
  • 主分类号: H01L31/10
  • IPC分类号: H01L31/10
一种基于应力分布的电子收集器实现方法
摘要:
本发明涉及一种基于应力分布的电子收集器实现方法,包括以下内容:1)根据半导体材料光生载流子寿命及扩散距离,确定电子收集区域;2)根据收集效果,采用光学变换原理设定三个电子迁移率值;3)根据设定的环形电子收集区域的径向电子迁移率ur和环向电子迁移率uθ分别得到A扇形区域和B扇形区域所对应的电子迁移率分布;4)根据计算得到的A扇形区域和B扇形区域的电子迁移率分布,通过半导体的迁移率大小和应力大小的关系,计算得到环形电子收集区域的A扇形区域和B扇形区域的应力分布;5)计算得到C区域的应力分布;6)根据求解得到应力分布,将各区域分别施加相应应力,即制作得到一电子收集器。本发明可以广泛应用于半导体器件、太阳能等领域。
公开/授权文献
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