发明授权
- 专利标题： ALD覆层设备
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申请号： CN201380032656.5申请日： 2013-05-31
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公开(公告)号： CN104411865B公开(公告)日： 2016-10-05
- 发明人: 迈克尔·波普 , 马克·菲利彭斯
- 申请人： 欧司朗OLED股份有限公司
- 申请人地址： 德国雷根斯堡
- 专利权人： 欧司朗OLED股份有限公司
- 当前专利权人： 欧司朗OLED股份有限公司
- 当前专利权人地址： 德国雷根斯堡
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 丁永凡; 张春水
- 优先权： 102012210332.5 2012.06.19 DE
- 国际申请： PCT/EP2013/061233 2013.05.31
- 国际公布： WO2013/189716 DE 2013.12.27
- 进入国家日期： 2014-12-19
- 主分类号： C23C16/448
- IPC分类号： C23C16/448 ; C23C16/455 ; H01L21/02
摘要：
提出一种ALD覆层设备。ALD覆层设备(100)具有：用于金属有机的初始材料(6)的储存容器(1)；和包括调节阀(3)、压力表(4)、压力隔板(5)和第一多通阀(10)的装置(2)，其中装置(2)设置在储存容器(1)的下游，并且第一多通阀(10)能够在处理室(7)和收集室(8)之间切换。
公开/授权文献
- CN104411865A ALD覆层设备 公开/授权日：2015-03-11
IPC分类:
